Silicium met superdiepe nanoporiën sluit licht uit
Onderzoekers van het MESA Instituut voor Nanotechnologie van Universiteit Twente, het FOM-Instituut voor Atoom- en Molecuulfysica in Amsterdam en ASML hebben een nieuwe methode ontwikkeld voor het maken van nanoporiën in silicium. Zo zijn ze er in geslaagd nanoporiën met een recorddiepte te maken. Men kan deze nieuwe structuren bijvoorbeeld toepassen in chemische sensoren en als condensator in hoge-frequentie elektronica. Omdat de ontwikkelde methode compatibel is met de techniek die de industrie nu al gebruikt, is integratie van de nieuwe structuren in siliciumchips mogelijk.
Lees verder “Silicium met superdiepe nanoporiën sluit licht uit”